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没有精密的光学镜头组,就用显微镜的物镜反向聚焦。没有紫外光源,就拿路灯用的高压汞灯凑合。
“老李,掩模版。”林建头也不抬地伸出手。
旁边,八级钳工老李师傅小心翼翼地递过一块两指宽的玻璃板。玻璃板上镀着一层铬,上面布满了肉眼几乎看不清的细密纹路。
这是老李戴着两层老花镜,拿着修钟表的刻刀,在强光台灯下熬了三个通宵,一刀一刀手工雕出来的掩模版。
“林工,你手稳着点,这玩意儿我眼睛都快瞅瞎了才刻出这么一块没毛病的。”老李压低声音,生怕喘气大了把玻璃板吹跑。
“放心。”林建接过掩模版,卡在显微镜的载物台上。
下面,是一片只有指甲盖大小的硅片。表面已经涂了一层感光胶。
接触式光刻。掩模版直接压在硅片上。
林建的手极稳。他慢慢转动显微镜的微调手轮。
“咔。”
掩模版贴住了硅片。
“开灯,曝光!”
助手小王猛地按下墙上的粗糙闸刀开关。
高压汞灯发出一声沉闷的嗡鸣,刺眼的蓝白光顺着铁皮筒的小孔,穿过显微镜镜头,打在掩模版上。
林建心里默默数着秒。
“十,九,八……三,二,一。关灯!”
光线消失。
林建迅速把硅片取下来,夹着用竹片削成的镊子,放进旁边一个装满显影液的搪瓷缸子里。
轻轻晃动。
几秒钟后,硅片上隐隐约约浮现出极其微小的几何图案。
“显影成功。”林建吐出一口浊气,“进扩散炉。”
棚子角落里,摆着一个用耐火砖和石棉瓦临时砌起来的炉子。里面插着一根从玻璃厂定制的石英管。
这就是他们的扩散炉和化学气相沉积(CVD)设备。
没有高精度的温度传感器。控温全靠旁边一个炼钢厂调来的老炉长。老头搬个马扎坐在炉子前,死死盯着石英管里火焰的颜色。
“樱桃红,八百度。亮黄,一千度。”老炉长嘴里念念有词,手里不停地微调着煤气阀门。
硅片被推入石英管。
掺杂,氧化,刻蚀。
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